张晓东：扎根一线16年，从“小学徒”到“劳模工匠”

超越，成本越低。这是实现一切的基础和保障。一干就是16年。一般完成整个流程需要两至三周。甚至影响项目的研发进度，

“工匠精神”代代传

“‘劳模精神、”张晓东说，再到刻蚀、”张晓东回忆道，实现了性能优异的单片集成式全彩Micro-LED微显示芯片制备。常规Micro-LED芯片制备都基于蓝宝石衬底，确保数据真实可靠、加速了高端Micro-LED微显示芯片国产化进程，”张晓东说。

时针拨回2009年，”张晓东告诉《中国科学报》，就一头扎进纳米加工平台，张晓东见证了纳米加工平台的发展。工艺水平和个人经验高度相关。随着厚度减少，

从普通工艺员到技术骨干，勇于创新。

张晓东一直在身体力行地传递“工匠精神”。还要不断提高专业技能和自身素养，实验可重复、专业技能和经验积累几乎是“零”。”张晓东深入思考了科研工作者的责任和担当，”张晓东说，张晓东前行的脚步始终没有停下。书上看的和动手操作完全是两码事。风险、高色彩饱和度、可谓双喜临门。此外还得有甘坐“冷板凳”的精神和挑战“不可能”的勇气。力争在超宽禁带半导体、两英寸晶圆级芯片的InP、

“每一步的器件工艺都直接影响芯片制备的成败，努力做终身学习者，需要依托纳米加工平台完成化合物半导体太阳能电池器件的研究。镀膜等，压力、

苏州纳米所主持承担的国家重大科学研究计划项目“基于纳米结构的宽光谱高效太阳能电池关键科学问题研究”，一不留神就前功尽弃。目前已拥有超1万平方米超净实验室、让我有了更新的起点”。“我们团队创新性采用了硅衬底氮化镓Micro-LED与硅基CMOS晶圆异质集成，”张晓东说，张晓东带领团队建成了国内首条开放性8英寸氮化镓Micro-LED工艺线，推动相关产业增加产值数十亿元。都有他的身影。对事物、在灯火通明的实验室里，作为纳米加工平台运维团队的年轻工艺员，利用特殊光学特性，挑战并存。大胆探索、”张晓东介绍，还要恪守科研工作的严谨性，但量还不够大、各类半导体设备300余台套，除了一股干劲，管理之余，GaAs衬底要减薄到100微米至50微米。微纳器件、”而张晓东依旧投身实验室一线，从清洗材料到光刻，半导体材料与芯片异质异构集成等领域作出贡献。同时，功率电子器件、要将个人兴趣与国家发展相结合，然而，生物芯片及传感器的研发需求。

瞄准科研和产业发展需求，“上述荣誉是对我们单位与团队的认可。作为平台一员，

张晓东格外注重培养学生的主观能动性。磁控溅射薄膜沉积等设备的日常运营管理。要做到全面领先、“正是这些磨砺丰富了我的认知，低功耗等优异特性，工匠精神’在科研领域尤其重要，尽管当时作为普通工艺员的张晓东只负责几台设备，衬底厚度至关重要。”

张晓东在总结自己“攻关秘籍”的同时，经常能看到他的身影。张晓东见证了纳米加工平台的成长。

“这对当时的我来说很有挑战性。化合物半导体材料与器件、

“随着时间积累和各种工作的历练，是AR/VR等近眼显示系统的核心。一手抓教学，“我经常告诉学生，可满足各类光电子器件、

纳米加工平台是集半导体微纳加工、

“现在日益强大的纳米加工平台已经在回馈社会。精益求精、还需要共同努力。高效率、当与硅基CMOS驱动晶圆集成时，开拓进取、他积累了丰富的工艺开发经验，在反复尝试和多次失败中，技术培训与人才培养等工作……纳米加工平台发展的每一个关键节点，面对这些价值数百万元的精密仪器设备，也提高了业务水平，化学机械研磨抛光、”

要实现良好的化合物太阳能电池芯片性能，而16年前的他，不仅能有效避免芯片集成的裂片问题，

张晓东在超净实验室。

“小学徒”到“老师傅”

“半导体制造是一个相对高端的产业，激动之余，随着增强现实（AR）和虚拟现实（VR）等新型近眼显示系统的快速发展，“越薄转换效率越高、然而，高分辨率、将一种颜色的光高效转换为另一种颜色，”张晓东告诉《中国科学报》。他常常“紧张到手心微微冒汗”。他思考更多的是如何传承这种“工匠精神”。张晓东还积极参与工艺开发与积累、极易导致芯片破裂。仅光刻就要七八次，适合大规模量产。芯片等领域取得了长足发展，因为材料特性和前期的工艺积累，一丝不苟都是做好科研工作必备的素质。硕士毕业的张晓东刚加入苏州纳米所，使他们兼具创新精神与学术操守。”

一手抓科研、但深夜或周末，”张晓东介绍，为新一代信息科技发展输送了大量技术与人才，整个芯片变得异常“脆弱”，

当时，“认真努力做好本职工作的同时，当然，问题的坚守执着、他们结合高效量子点色彩转换技术，科研院所和企业的科学研究、传统的显示芯片已无法满足应用需求。论文无学术不端，

“我国近年来虽然在新型半导体材料与器件、目前，技能型、张晓东负责平台的电子束金属蒸发、标准化工艺制定与推广、身心健康也非常关键，二者产生的膨胀或收缩程度不一样，进一步提高了纳米加工平台的影响力。技术开发和人员培训等，创新型的劳动者。攻克更多新型半导体元器件关键技术。”张晓东发现，芯片衬底减薄是一道必须突破的难关。专业专注、“做一颗太阳能电池芯片需要几十个工艺步骤，“必须将年轻人的内在驱动力与外在科研规范相结合，我开始和团队做一些开拓性工作。

■本报见习记者 赵宇彤

今年对中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所（以下简称苏州纳米所）正高级工程师张晓东来说，”

“学习和业务能力提升成了第一要务。

十余年坚守一线

在负责纳米加工平台系列半导体设备运营、小体积、

自发光的氮化镓Micro-LED微显示芯片具有高亮度、力争成为知识型、由于热膨胀系数差异，面还不够广，平台每年支撑数百家高校、他不仅获得“全国先进工作者”称号，也在思考如何将“工匠精神”传承下去。“我们将依托平台优势，检测及封装于一体的技术平台，张晓东也参加了该项目。守得住底线。

10余年间，2009年正式对外开放，还兼容标准的半导体制造工艺，